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設備: 靶材背板
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靶材背板
靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法，在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生游離，經由電場的作用，向塗佈體(通常是晶圓片、玻璃等)表面附著的加工過程。
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修改日期:2012/09/12