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設備:電極板
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設備:高速攪扮機構
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設備:除靜電除塵風刀
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設備:風刀SUS
設備:風刀AL
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設備:靶材背板
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設備:真空門框
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設備:真空門把
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設備:玻璃基板吸盤
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設備:注入卡匣
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設備:APR板夾具
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設備:G75防著板
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設備:光阻塗佈旋轉盤
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設備:外觀檢查輸送機
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