此設備對基板以SPIN方式塗佈顯影劑或光阻或PS液體，再經過洗邊及烘乾等步驟
1. 製品名稱：玻璃基板
2. Coating液之MSDS由AUO提供
3. Glass size : 400*320mm, t =0.4、0.5、0.7mm
