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發布者: 勝晟精密機械股份有限公司     (4679 點閱次數)  
設備: 靶材背板
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靶材背板
靶材(Target)是半導體、光電業常用的一種濺鍍材料。濺鍍是利用高壓液相沉積法或高壓氣相沉積法,在真空、高電壓等環境中使靶材表面的電子發生游離,經由電場的作用,向塗佈體(通常是晶圓片、玻璃等)表面附著的加工過程。
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修改日期:2012/09/12